Россия выходит на новый уровень микроэлектроники: стартуют поставки фотолитографов
На форуме «Микроэлектроника 2025» был подписан договор между Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) и «Отраслевыми решениями» (группа «Элемент») на поставку первой отечественной установки совмещения и проекционного экспонирования с разрешением 350 нм.